半導体
半導体、フラット・パネル・ディスプレイ(FPD)、太陽電池、スマートフォン、(バッテリー式)電気自動車(BEV)と自動運転、生成AIなど、技術革新はめざましい進歩を遂げています。特に半導体デバイスは微細化、高集積化の傾向にあり、回路最小線幅は3nmから2nmへ、3Dパッケージによる低消費電力化、高速化、小型化が進んでている。一方、FPDは主に第10世代(2850mm×3050mm)以上の技術が主流になっており、大型化されています。これに伴い、半導体製造装置やFPD製造装置などに使用される軸受、直動製品には、低発塵性、低アウトガス性、耐熱性、耐食性、高剛性、更にこれら部品を組み合わせたメカトロ製品では高速性、高精度の要求機能が年々厳しくなっています。
NSKでは材料技術、潤滑技術、クリーン技術、表面改質技術、精密案内技術などのNSK独自のコアテクノロジーを活用した真空、クリーン、高温、耐食などの環境で使用できる「スペーシア™シリーズ: 特殊環境用軸受・ボールねじ・リニアガイド」をラインナップし、さまざまな装置の高機能化・高性能化に大きく貢献するとともに、環境への取組みを行っています。
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