精機製品・産業レポート: リニアモータ駆動エアスライド クリーン仕様
各種産業の機械は、大量生産や性能向上などの目的のために大容量化、小形軽量化（微細化）、高精度化、高速化するべく開発が進められています。特に半導体製造装置においては、半導体の進捗と共に開発スピードも要求されています。そして、さまざまな問題を解決するために、それぞれの用途に合った案内軸受が開発されてきました。さらに、半導体製造装置においては、低発塵（クリーン）、長寿命（メンテナンスフリー）といった性能をもっていることが強く求められています。NSKでは、高精度・クリーン・メンテナンスフリーを実現した非接触ダイレクトドライブスライダを製品化しました。
【用途】
- 半導体関連の製造・検査装置（ウエハ、マスク）
- 液晶関連の製造・検査装置（カラーフィルタ、マスク）
- 磁気ディスク・光ディスク関連の製造・検査装置
- 精密微細加工機
- 各種検査装置
1. DCブラシレスリニアモータの使用により高運動精度
コギングレスのDCブラシレスリニアモータの使用により高運動精度。
2. 非接触案内のため速度むらが少ない
空気軸受による非接触案内のため速度むらが少ない。
3. 低発塵・メンテナンスフリーを実現
空気軸受による非接触案内と、ブラシレスリニアモータによる完全な非接触運動で低発塵・メンテナンスフリーを実現しています。
4. 構造部材の製造寿命が長い
構造部材をオールセラミック化することにより、精度寿命が長い。
5. ハイブリット軸受構造とし軽量・薄形を実現
静圧多孔質絞りの浮上力と永久磁石の吸引力でバランスをとるハイブリット軸受構造とし軽量、薄形を実現しています。