精機製品・技術レポート：低発塵グリースLG2、LGU スペーシアシリーズ

半導体、液晶パネルなど情報産業分野における製造設備用駆動装置は、ボールねじ、リニアガイド、転がり軸受から発生する潤滑グリースの発塵を極端に嫌う。潤滑グリースからの発塵粒子は、半導体素子の製造工程における汚染源となり、製品価値を失うような欠陥を生じる要因となる。
従来、この環境では蒸発量の少ないふっ素系グリースが使用されていたが、一般に、摩擦トルク、耐摩耗性、防錆性能などの問題点が指摘されていた。一方、市販の鉱油や合成油を基油としたグリースは、発塵量が多く、クリーン環境に適さないという問題があった。
NSKは、これらの問題を改善した大気用クリーングリースとして、LG2グリース、LGUグリースを開発した。
発塵量と動トルク変化を図1、図2示す。