真空環境用軸受
概要
真空環境用軸受はNSK特殊環境用軸受スペーシア™シリーズの基本製品で「腐食環境用」「クリーン環境用」「高温環境用」とそれぞれ使用環境に応じた製品があります。
製品一覧
ステンレス軸受にフッ素系クリーングリースFG9を封入した軸受です。大気～真空のクリーン環境に適します。
特長
- グリースの飛散・発塵が少ないです。
- 耐熱性に優れます。
用途例
- 半導体製造装置
- 有機EL製造装置
ハイブリッド軸受は、セラミック玉とフッ素系自己潤滑保持器を組合せた軸受です。大気～真空の腐食環境に適します。
特長
- グリースレスです。
- フッ素系保持器による固体潤滑品です。
用途例
- 真空搬送装置
- 検査装置
DFO軸受は内外輪、玉、保持器に低蒸気圧炭化水素焼付け膜(E-DFO)、フッ素油焼付け膜（V-DFO）を形成させ、クリーンでかつ長寿命の特性を合せ持った、新しいコンセプトの軸受です。大気～真空のクリーン環境に適します。
特長
- クリーングリースよりも更に発塵が少ないです。
- アウトガスが少ないです。
用途例
- 半導体製造装置
- 有機EL製造装置
高温用YSタイプ軸受は、転動体間に合金系自己潤滑材料(焼結合金)をスペーサに使用した軸受です。真空･高温環境に適します。
特長
- 真空、350℃までの高温で対応できます。
- 固体潤滑剤スペーサによる潤滑で、長寿命です。
用途例
- イオン注入装置
- スパッタ装置
高温用SJタイプ軸受は、保持器のひとつのポケット内にある2個の転動体間に固体潤滑剤スペーサを配置した“さやえんどう”構造の軸受です。真空･高温環境に適します。
特長
- 真空および大気中の400℃までの高温で対応できます。
- 固体潤滑剤スペーサによる潤滑と、保持器で保持する構造で長寿命です。
用途例
- 炉内搬送装置
- フィルム製造高温装置
外・内輪、玉をセラミックス製とし、フッ素系自己潤滑保持器で潤滑作用を持たせた軸受です。大気～真空の腐食環境および非磁性環境に適します。
特長
- 最も耐食性に優れ、非磁性です。
- 耐摩耗性に優れ、長寿命です。
用途例
- 半導体製造装置
- 有機EL製造装置
よくある質問
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製品資料
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