特點
近年資訊產業的崛起,使半導體和液晶製造設備所使用的線性滑軌的數量急劇增加。
在這些製造工程中存在氧化、擴散等熱處理工程,其周邊裝置所使用的線性滑軌也必須具有耐熱性。
在此介紹用於此處的NSK線性滑軌耐熱系列。
1. 可使用在耐熱性150℃(瞬間200℃)
使用塑膠制循環部件的標準線性滑軌最高使用環境溫度為80℃。超過此溫度使用於高溫環境時,請使用耐熱規格的線性滑軌。
端蓋使用SUS材料金屬粉末射出成型品,密封蓋和側密封蓋使用含氟橡膠的NSK線性滑軌耐熱系列可使用於150℃(瞬間200℃)的環境中。
2. 耐蝕性
使用SUS材料所製的端蓋和含氟橡膠材料所製的底密封蓋和側密封蓋,進而具有耐蝕性。
3. 多種應對系列
應對系列如下表所示具有多種系列,通過各種規格,能廣泛應對各種需求。
另有耐熱伸縮式防塵套。