半導體、液晶面板等信息產業中設備製造用驅動裝置有滾珠螺桿、線性滑軌和滾動軸承，他們的潤滑脂導致的粒子具有惡劣影響。潤滑脂產生的粒子是半導體製造過程中的污染源，且是導致失去產品價值的缺陷的主要原因。
以往的環境下一般使用蒸發量小的氟素系潤滑脂，但存在摩擦力矩、耐磨性及耐蝕性等問題。但是市售的以礦物油和合成油為基油的潤滑脂發塵量過大，存在不適合清潔環境的問題。
為了改善這個問題，NSK開發了無塵環境用LG2、LGU潤滑脂。
發塵量與動摩擦力矩的變化關係如圖1、2所示。
- LG2潤滑脂通過最合適的配比，在嚴格精密的製作條件下，實現的低發塵性。同時具有耐磨損性、耐蝕性和低摩擦力矩等優異特性的潤滑脂。
- LGU潤滑脂則在LG2潤滑脂之上，具有更高的溫度使用範圍，同時從配方成分去除了金屬元素。
表1顯示了低發塵性潤滑脂的性能。
