1. 線性滑軌單體的運行精度
NSK把線性滑軌單體的運行精度規定為“行走平行度”。所謂的行走平行度，是將軌道和滑塊組合後，沿軌道的軸方向移動時產生的，滑塊基準面相對於軌道基準面的變動量。行走平行度的測量位置如圖1的H及W2方向，規格值是由線性滑軌的精度等級和軌道的長度決定，如表1所示。
2. 工作平台的運行精度
圖2顯示的是半徑為R的凹形狀機台上所安裝的線性滑軌。通常，線性滑軌都是由軌道2支和滑塊4個所構成，採用這種組合方式時，工作平台中央點的移動軌跡會如圖2所示，描繪出半徑為r的圓弧。藉由R和r的差，可以了解到工作平台的運行精度會比機台的直線度更好。這個被稱為“平均化效果”，一般在使用4個滑塊支撐的場合，安裝面的精度誤差能降低為原來的1/3。
在例1所示的條件下，安裝機台的精度容許值D1為25μm。
根據這種平均化效果，對於線性滑軌單體的行走平行度而言，選擇最合適的精度等級是很重要的。
