真空環境專用軸承
概要
真空環境專用軸承，是NSK特殊環境專用軸承SPACEA™系列的基本類型之一，備有適用於“腐蝕”、“無塵”、“高溫”、“非磁性”等各種環境的產品。
產品一覽
這是一種不銹鋼軸承，填充有氟基清潔潤滑脂FG9。適用於從空氣到真空的潔淨環境。
特徵
油脂飛散和灰塵產生較少。 優異的耐熱性。
應用實例
半導體製造設備
有機EL製造設備
混合軸承是陶瓷球和氟基自潤滑保持架的組合。適用於從空氣到真空的腐蝕性環境。
特徵
無油脂。
帶有氟基保持架的固體潤滑劑產品。
應用實例
真空輸送裝置
檢驗設備
DFO軸承在內、外圈、球、保持架上形成低蒸氣壓碳氫化合物烤漆膜（E-DFO）和氟化油烤漆膜（V-DFO），是清潔、長壽命的新產品這是一個概念軸承。適用於從空氣到真空的潔淨環境。
特徵
它產生的灰塵甚至比乾淨的油脂還要少。 排氣量較少。
應用實例
半導體製造設備
有機EL製造設備
YS型高溫用軸承是採用合金自潤滑材料（燒結合金）作為滾動體之間的隔離件的軸承。適用於真空、高溫環境。
特徵
可在真空和高達350℃的高溫下使用。 採用固體潤滑墊片潤滑，使用壽命長。
應用實例
離子注入機
濺鍍設備
高溫 SJ 型軸承具有「平台」結構，其中固體潤滑劑隔圈放置在保持架一個凹座中的兩個滾動元件之間。適用於真空、高溫環境。
特徵
在真空和空氣中可在高達400℃的高溫下使用。 由固體潤滑劑墊片潤滑並保持在保持架中，使用壽命長。
應用實例
爐內輸送裝置
薄膜製造高溫設備
此軸承的外圈、內圈和滾珠均由陶瓷製成，並具有氟基自潤滑保持架以起到潤滑作用。適用於從空氣到真空的腐蝕性和非磁性環境。
特徵
它具有最高的耐腐蝕性且無磁性。 耐磨性優良，使用壽命長。
應用實例
半導體製造設備
有機EL製造設備
FAQs
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